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百级无尘室建筑方式可分为土建结构和装配式两种，其中普遍采用装配式。装配式百级无尘室洁净系统主要由静压箱，过滤器，铝合金扩散板，标准法兰接口等组成，造型美观，结构简单，使用可靠。 如送风口为下装式，具有在洁净室内安装和更换过滤器方便的优点，过滤器采用机械压紧或液槽密封装置，确保风口安装无泄露，密封可靠，净化效果好.动力及照明系统；工作环境参数的监测报警消防和通讯系统；物流系统；工艺管路系统。

空气洁净技术是一门高要求的综合性技术，旨在对生产环境中的尘埃、细jun、带菌微生物等加以控制，多晶硅净化车间，从而达到保证产品、高纯度和高可靠性的目的。根据这些特殊要求，空气洁净系统的制作安装，除应按照国家规范要求进行施工之外，半导体净化车间工程，还必须根据具体情况采取一定的技术措施，以满足洁净系统安装的洁净度、严密性的要求。板材外观检查必须达到基本平整、光滑、无划痕、无锌层剥落，且符合设计要求。

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